愛(ài)德華干泵維修適用于鋰離子電池制造設(shè)備的真空泵制造商鋰離子電池正在推動(dòng)*的環(huán)保議程，可靠的高質(zhì)量真空是其制造過(guò)程中的關(guān)鍵因素。我們有一系列適合所有電池制造需求的泵，這些泵由服務(wù)和支持網(wǎng)絡(luò)提供支持。 

愛(ài)德華干泵維修特點(diǎn)： 
低成本；
可減少維護(hù)成本并降低環(huán)境影響；
智能泵；
高級(jí)控制功能；

我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過(guò)減輕不利于環(huán)境的排放、延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來(lái)優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。


平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤(rùn)式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edwards 可以讓您有效應(yīng)對(duì)這兩種應(yīng)用。

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